第209章 存储芯片工艺(2/2)

就是由高纯度的石墨烯制成，因此它们不需要经过传统的研磨、化学刻蚀等繁琐的步骤来去除表面瑕疵。

    这就是碳基对比起硅基的优势之一，保证了晶圆的质量和稳定性。

    在晶圆准备就绪后，江辰采用了离子束雕刻的方式来制造存储芯片。

    离子束雕刻技术具有高精度和高效率的特点，能够精确地刻画出存储芯片上的每一个细节。

    通过这种方式，江辰成功地将石墨烯晶圆转化为具有高性能的存储芯片。

    至于后续的工艺步骤，如刻蚀、薄膜沉积、互连和测试封装等，江辰则借鉴了量子芯片的工艺流程。

    这些步骤在量子芯片制造中经过了严格的验证和优化，因此可以直接应用于存储芯片的生产中。

    通过这些步骤的精确控制，江辰确保了存储芯片的性能和可靠性。

    整套工艺最开始的材料制造部分与量子芯片不同，其他大同小异。

    与硅基芯片生产过程相比，主要就是从光刻机转变为离子束雕刻。

    这也是为什么星辰能够绕过国外的技术专利的原因所在。

    其余环节的技术专利形成不了专利壁垒，封锁星辰，光刻机才是最关键的设备。

    其中的光刻胶，曝光技术，显影技术，每一项都是壁垒。

    光刻机就是人类迄今为止工业皇冠上最顶尖的那颗明珠。